現在國內生產四氯化硅的主要方法有哪些？

匿名用戶 | 2017-05-22 10:49

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（共1個回答）
  • 生產海綿鋯過程中有氯化階段需要在鋯英砂中加入硅粉一起氯化；另外還有專門為了生產四氯化硅而用硅粉與氯氣反應生成四氯化硅；國外的高純硅烷生產過程中用三氯氫硅生成硅烷和四氯化硅，生成四氯化硅；生產海綿鈦過程中氯化階段也生成四氯化硅改良西門子法的三氯氫硅生產多晶硅過程中有副產物四氯化硅產生
    匿名用戶 | 2017-05-22 10:49

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