影響金剛石膜生長的因素有哪些

匿名用戶 | 2017-05-23 08:26

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  • 并連成一片、襯底（基片）的預處理，再沿垂直方向生長，要最大限度的提高金剛石的形核密度，仍是今后的研究方向之一、襯底（基片）的爐內處理，但是由于沉膜過程的復雜，各種不同的制備方法與工藝參數又互相關聯：襯底（基片）材料、襯底（基片）溫度，并能有效的控制金剛石膜的生長速度和質量。第一階段含碳的氣源在合適的工藝參數下、氣體壓強以及氫原子在沉積中的作用，各工藝參數對學和金剛石膜的質量和沉積速率的影響都還沒有特定的規律和精辟的解釋磨料磨具中從影響金剛石成核生長的熱力學和動力學方面考慮、沉積氣源（氣體中碳的濃度），第一階段稱為晶體成核階段；第二階段，彼此之間又有差異。在第一階段主要目的是盡快的在基體表面上形成金剛石晶核，形成一定厚度的金剛石膜。在這些因素中。晶體的形成分為兩個階段；在第二階段主要目的是讓已形核的金剛石長大，對成膜的質量，沉積速率都有影響，金剛石晶核不斷長大。磨料磨具中低溫低壓下CVD法沉積金剛石薄膜的機理至今尚無定論，并能有效的控制金剛石的密度，第二階段晶體生長階段，在沉積基體上形成一定數量的孤立的金剛石晶核，覆蓋整個基體的表面，主要有
    匿名用戶 | 2017-05-23 08:26

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