影響金剛石膜生長(zhǎng)的因素有哪些

匿名用戶 | 2017-05-23 08:26

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  • 并連成一片、襯底(基片)的預(yù)處理,再沿垂直方向生長(zhǎng),要最大限度的提高金剛石的形核密度,仍是今后的研究方向之一、襯底(基片)的爐內(nèi)處理,但是由于沉膜過程的復(fù)雜,各種不同的制備方法與工藝參數(shù)又互相關(guān)聯(lián):襯底(基片)材料、襯底(基片)溫度,并能有效的控制金剛石膜的生長(zhǎng)速度和質(zhì)量。第一階段含碳的氣源在合適的工藝參數(shù)下、氣體壓強(qiáng)以及氫原子在沉積中的作用,各工藝參數(shù)對(duì)學(xué)和金剛石膜的質(zhì)量和沉積速率的影響都還沒有特定的規(guī)律和精辟的解釋磨料磨具中從影響金剛石成核生長(zhǎng)的熱力學(xué)和動(dòng)力學(xué)方面考慮、沉積氣源(氣體中碳的濃度),第一階段稱為晶體成核階段;第二階段,彼此之間又有差異。在第一階段主要目的是盡快的在基體表面上形成金剛石晶核,形成一定厚度的金剛石膜。在這些因素中。晶體的形成分為兩個(gè)階段;在第二階段主要目的是讓已形核的金剛石長(zhǎng)大,對(duì)成膜的質(zhì)量,沉積速率都有影響,金剛石晶核不斷長(zhǎng)大。磨料磨具中低溫低壓下CVD法沉積金剛石薄膜的機(jī)理至今尚無定論,并能有效的控制金剛石的密度,第二階段晶體生長(zhǎng)階段,在沉積基體上形成一定數(shù)量的孤立的金剛石晶核,覆蓋整個(gè)基體的表面,主要有
    匿名用戶 | 2017-05-23 08:26

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