石英坩堝
2017-03-31 10:11 來源:礦材網 編輯:礦材網

 石英坩堝可在1450度以下使用,分透明和不透明兩種,具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節約能源、質量穩定等優點。

 石英坩堝簡介:

 1、石英坩堝可在1450度以下使用,分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅,發展大規模集成電路必不可少的基礎材料。

 2、不能和HF接觸,高溫時,極易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽作用。

 3.石英坩堝適于用K2S2O7,KHSO4作熔劑熔融樣品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔劑處理樣品。

 4.石英質脆,易破,使用時要注意。

 5.除HF外,普通稀無機酸可用作清洗液。國內常用拉制單晶硅用石英坩堝18英寸和20英寸22英寸也有廠家使用22及以上的坩堝。目前國內坩堝生產大廠家生產的坩堝技術都比較成熟。其生產使用原料石英砂由美國進口和挪威高純石英砂兩種。也有小廠使用國產料其原料生產的石英坩堝對拉制單晶硅時其穩定性都有一定影響。

 目前坩堝生產涂層技術已被大多數廠家使用就是在普通石英砂溶制的坩堝表面涂上一層二氧化鋇溶液使其形成致密層,其致密層能阻止單晶硅高溫拉制過程中硅與石英坩堝反應提高成晶率。

 石英坩堝生產工藝流程:高純石英砂→高純石墨模具→真空裝料成型→真空電弧熔制→自然冷卻脫模→石英坩堝初步檢測→冷加工噴砂、切斷、倒角→石英坩堝二次檢測→超凈清洗、超聲、高壓噴淋、自動烘干。加溫烘烤,噴涂→石英坩堝三次檢驗→真空包裝→成品入庫。

石英坩堝使用及維護:(1)石英坩堝主要化學成分是二氧化硅,除氫氟酸外不與其它酸作用,易與苛性堿及堿金屬碳酸鹽作用。(2)石英坩堝對熱的穩定性很好,可直接放在火焰上加熱。(3)石英坩堝和玻璃器皿一樣,容易破碎,使用時要特別小心(4)用石英坩堝可以用硫酸氫鉀(鈉),硫代硫酸鈉(在212攝氏度烘干)等作為熔劑,熔融溫度不許超過800攝氏度。

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